上海伯东 普发 Pfeiffer 氦质谱检漏仪 ASM340 用于流量控制阀 MFC 检漏
深圳某半导体设备商共采购 5 台德国普发 Pfeiffer 氦质谱检漏仪 ASM340, 用于流量控制阀 MFC 检漏.
氦质谱检漏仪 ASM340 技术参数:
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型号
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ASM340
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ASM340 D
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ASM340 I
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对氦气的最小检检漏率
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5E-13 Pa m3/s
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5E-13 Pa m3/s
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5E-13 Pa m3/s
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检测模式
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真空模式和吸枪模式
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真空模式和吸枪模式
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真空模式和吸枪模式
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检测气体
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4He, 3He, H2
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4He, 3He, H2
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4He, 3He, H2
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启动时间 min
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3
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3
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3
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对氦气的抽气速度 l/s
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2.5
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2.5
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2.5
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进气口最大压力 hPa
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25
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25
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5
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前级泵抽速 m3/h
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油泵 15
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隔膜泵 3.4
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不含前级泵
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重量 kg
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56
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45
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32
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流量控制阀 MFC 主要用于对气体的质量流量进行精密测量和控制. 流量控制阀 MFC 在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用.
伯东公司客户主要生产流量控制阀 MFC, 由于产品的特殊性, 对密封性要求特别高, 达 5E-11 Pa m3/s, 选用其他氦质谱检漏仪根本达不到实际生产测量要求, 或者生产效率特别低下, 经过实际论证, 最终确定选用伯东公司德国普发 Pfeiffer 氦质谱检漏仪 ASM340.
上海伯东是德国 普发 Pfeiffer 真空设备, 美国 KRI 考夫曼离子源, 日本 NS 离子蚀刻机, 美国 inTEST 高低温冲击测试机, 美国 HVA 真空阀门, 美国 Gel-pak 芯片包装盒,比利时原装进 口 Europlasma 等离子表面处理机 , 日本 Atonarp过程质谱仪 和 美国 Ambrell 感应加热设备 等进口知名品牌的指定代理商 .我们真诚期待与您的合作!
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