上海伯东 普发 Pfeiffer 氦质谱检漏仪减压器, 减压阀门检漏
减压器, 又称减压阀门, 是将高压气体降为低压气体, 并保持输出气体的压力和流量稳定不变的调节装置. 主要应用于半导体管路或实验室压力控制. 减压器本身如果出现泄漏, 会直接导致高压气体泄漏, 一旦气体属于有毒有害气体, 将导致严重的生产事故! 因此减压器在出厂前必须经过严格的泄漏检测, 氦质谱检漏法与传统泡沫法对比, 利用氦气作为示踪气体可精确定位, 定量漏点, 在真空模式下, 可以显示 1X10-12 mbar l/s 的漏率值, 上海伯东氦质谱检漏仪现已广泛应用于减压阀检漏
上海伯东减压器检漏客户案例: 某公司生产减压器, 主要用于半导体管路中气体减压, 调节气体压力, 减压器要求在真空模式下漏率小于 1X10-8 mbar l/S, 经过伯东推荐, 最终选择前级泵为干泵的移动型氦质谱检漏仪 ASM 390
减压器检漏方法: 选用氦质谱检漏仪真空模式进行检漏, 减压器直接与检漏仪进气口相连, 用喷枪在怀疑有漏的地方进行吹扫
上海伯东德国 Pfeiffer 移动型氦质谱检漏仪 ASM 390
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检漏仪配有干式非接触式前级真空泵和涡轮分子泵, 满足半导体行业要求!
检测气体: 4He, 3He, H2
最小检测漏率: 真空模式: 1X10-12 mbar l/s
吸枪模式: 1X10-8 mbar l/s
对氦气的抽速: 10 l/s
前级泵抽速: 35 m3/h
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氦质谱检漏仪应用推荐:
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半导体用配管配件检漏
应用于半导体厂务端高端不锈钢管, 配件, 阀门和歧管, 产品漏率值需要达到 10-9 mar l/s. 采用氦质谱检漏仪 ASM 390 进行检漏
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流量计检漏
采用氦质谱检漏仪 ASM 340 对流量计的主体金属外壳进行检漏, 外壳焊缝和接头部位都需要进行检漏
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上海伯东是德国 普发 Pfeiffer 真空设备, 美国 KRI 考夫曼离子源, 日本 NS 离子蚀刻机, 美国 inTEST 高低温冲击测试机, 美国 HVA 真空阀门, 美国 Gel-pak 芯片包装盒,比利时原装进 口 Europlasma 等离子表面处理机 , 日本 Atonarp过程质谱仪 和 美国 Ambrell 感应加热设备 等进口知名品牌的指定代理商 .我们真诚期待与您的合作!
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