上海伯东 普发 Pfeiffer 氦质谱检漏仪半导体用配管配件检漏
上海伯东客户某专门生产半导体配管配件工程公司, 定制高端不锈钢管, 配件, 阀门和歧管广泛应用于半导体厂务端, 用于输送高压氧气, 氢气等. 客户从现场量测管路, 然后对不同口径的管路进行焊接, 因半导体行业的苛刻使用要求, 配管配件漏率值需要达到 <1E-9mar l/s, 因此需要进行泄漏检测, 已验收管件是否达标. 客户对检漏效率要求较高, 需要在生产线使用且方便移动操作并进行快速的泄露测试, 经过上海伯东推荐最终选择移动型氦质谱检漏仪 ASM 390 和 ASM 392!
上海伯东半导体用配管配件氦质谱检漏方法:
考虑到管路衔接长, 需要满足客户快速的检漏要求, 上海伯东德国 Pfeiffer ASM 390 针对此类应用提供大漏模式: 定性泄漏检测从 100 mbar 到 20 mbar 开始 (进入测试模式之前) 此一区间即可进行检漏, 快速缩短检漏时间！
检漏配置: 氦质谱检漏仪 ASM 390,客制转接头和配套密封件一套,喷枪和配套氦气瓶一套
检漏方法:根据配管实际使用工况,采用检漏仪真空模式进行检漏,设置漏率值 1E-9mar l/s, 首先对焊接的单个配管进行检漏, 配管组装完成后, 对整个管线再次进行检漏. 按照下图组装样品, 在怀疑有漏的地方喷氦气（一般需要检漏的部位是焊缝或连接处), 如果有漏, 检漏仪会出现声光报警同时在屏幕上显示当前漏率值.
1. 将制作好的各种管件加工焊接, 然后通过波纹管连接至氦气检漏仪 ASM 390 进行检漏
2. 配管组装完成后, 对整个管线再次进行检漏
3.测试各个管路时, 可依照客户需求将数据记录储存 (并可储存至计算机内)
结论: 经过实际测试, 无论单个管径是 6’, 8’ 或 10’, 长度在 1m~2m, 均可在 < 90 s 以内达到客户检漏底压需求 <1E-9 mbar l/s, 快速又精准, 大大提升了工作效率!
到现场配管完成后检漏, 所有管件组装后, 总长度达几十米, 与之前的检漏时间, 工程花费时间可能趋近于一天, 但选用上海伯东 Pfeiffer ASM 390, 在整体抽校与检漏时间上, 几乎缩短了一倍时间！
上海伯东 Pfeiffer 移动型氦质谱检漏仪 ASM 390 技术参数
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型号
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ASM 390
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ASM 392
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检测气体
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4He, 3He, H2
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最小检测漏率
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真空模式: 1X10-12 mbar l/s
吸枪模式: 1X10-8 mbar l/s
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对氦气的抽速
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10 l/s
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25 l/s, 内置2台分子泵
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前级泵抽速
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35 m3/h
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进气口最大压力
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20 mbar
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20 mbar
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无校准的启动时间(20°C)
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2 min
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进气口
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DN 40 ISO-KF
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响应时间
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< 1 s
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Interface, 选配
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RS-232, I/O, Ethernet
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重量
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125 kg
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130 kg
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上海伯东是德国 普发 Pfeiffer 真空设备, 美国 KRI 考夫曼离子源, 日本 NS 离子蚀刻机, 美国 inTEST 高低温冲击测试机, 美国 HVA 真空阀门, 美国 Gel-pak 芯片包装盒,比利时原装进 口 Europlasma 等离子表面处理机 , 日本 Atonarp过程质谱仪 和 美国 Ambrell 感应加热设备 等进口知名品牌的指定代理商 .我们真诚期待与您的合作!
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