上海伯东 普发Pfeiffer分子泵用于分子束外延设备 MBE
分子束外延设备（MBE）作为一种重要的真空镀膜工艺设备，对真空环境有着极高的要求，至少需要小于 10⁻⁷ mbar 的超高真空环境。本报告将详细阐述上海伯东的分子泵在分子束外延设备 MBE 中的应用情况。
上海伯东提供的德国 Pfeiffer 分子泵 HiPace 系列，包括 HiPace 300 和 HiPace 80，被广泛应用于 MBE 设备的真空系统搭建。该系列分子泵具有独特的优势，与友厂对比，其复合轴承分子泵 HiPace 系列对小分子气体拥有更高的抽速和更大压缩比。
上海伯东作为某真空设备制造商的重要合作伙伴，为其提供大量的 Pfeiffer 分子泵 HiPace 300 和 HiPace 80。这些分子泵被成功应用于分子束外延设备 MBE 的真空系统搭建中，满足了 MBE 设备对超高真空环境的严格要求，为 MBE 设备的正常运行提供了可靠的真空保障。
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与友厂对比,上海伯东德国 Pfeiffer 复合轴承分子泵 HiPace 系列,对小分子气体拥有更高的抽速和更大压缩比.
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型号
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抽速 L/S
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压缩比
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极限真空度 hPa
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进气口 |
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HiPace 80
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N2 67
He 58
H2 48
Ar 66
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N2 > 1 X1011
He 1.3X107
H2 1.4X105
Ar > 1 X1011
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< 1X10–7
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DN 63
ISO-K/
DN 63
CF-F
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HiPace 300
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N2 260
He 255
H2 220
Ar 255
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N2 > 1 X1011
He > 1X108
H2 9X105
Ar > 1 X1011
|
< 1X10–7
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DN 100
ISO-K/
DN 100
CF-F
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上海伯东的德国 Pfeiffer 分子泵 HiPace 系列在分子束外延设备 MBE 中的应用取得了良好的效果。其优异的性能参数，包括高抽速和大压缩比，以及能够满足超高真空环境要求的极限真空度，使其成为 MBE 设备真空系统搭建的理想选择。这一应用案例也进一步证明了普发分子泵产品的可靠性和先进性，为其在相关领域的市场拓展奠定了坚实的基础。
上海伯东是德国 Pfeiffer 真空设备, 美国 KRI 考夫曼离子源, 美国 inTEST 高低温冲击测试机, 美国 Ambrell 感应加热设备和日本 NS 离子蚀刻机等进口知名品牌的指定代理商 .我们真诚期待与您的合作！
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