Pfeiffer 普发 真空泵应用案例发布日期:2024-11-05

上海伯东 普发Pfeiffer分子泵用于分子束外延设备 MBE


分子束外延设备(MBE)作为一种重要的真空镀膜工艺设备,对真空环境有着极高的要求,至少需要小于 10⁻⁷ mbar 的超高真空环境。本报告将详细阐述上海伯东的分子泵在分子束外延设备 MBE 中的应用情况。

 

上海伯东提供的德国 Pfeiffer 分子泵 HiPace 系列,包括 HiPace 300 和 HiPace 80,被广泛应用于 MBE 设备的真空系统搭建。该系列分子泵具有独特的优势,与友厂对比,其复合轴承分子泵 HiPace 系列对小分子气体拥有更高的抽速和更大压缩比。

 

上海伯东作为某真空设备制造商的重要合作伙伴,为其提供大量的 Pfeiffer 分子泵 HiPace 300 和 HiPace 80。这些分子泵被成功应用于分子束外延设备 MBE 的真空系统搭建中,满足了 MBE 设备对超高真空环境的严格要求,为 MBE 设备的正常运行提供了可靠的真空保障。

 

 

 

与友厂对比,上海伯东德国 Pfeiffer 复合轴承分子泵 HiPace 系列,对小分子气体拥有更高的抽速和更大压缩比.

型号

抽速 L/S

压缩比

极限真空度 hPa

进气口


HiPace 80

N2 67
He 58
H2 48
Ar 66

N2 > 1 X1011
He  1.3X107
H2 1.4X105
Ar > 1 X1011

< 1X10–7

DN 63
ISO-K/

DN 63
CF-F


HiPace 300

N2 260
He 255
H2 220
Ar 255

N2 > 1 X1011
He > 1X108
H2 9X105
Ar > 1 X1011

< 1X10–7

DN 100

ISO-K/

DN 100

CF-F

 

 

上海伯东的德国 Pfeiffer 分子泵 HiPace 系列在分子束外延设备 MBE 中的应用取得了良好的效果。其优异的性能参数,包括高抽速和大压缩比,以及能够满足超高真空环境要求的极限真空度,使其成为 MBE 设备真空系统搭建的理想选择。这一应用案例也进一步证明了普发分子泵产品的可靠性和先进性,为其在相关领域的市场拓展奠定了坚实的基础。

 

上海伯东是德国 Pfeiffer 真空设备, 美国 KRI 考夫曼离子源, 美国 inTEST 高低温冲击测试机, 美国 Ambrell 感应加热设备和日本 NS 离子蚀刻机等进口知名品牌的指定代理商 .我们真诚期待与您的合作!

 

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上海伯东: 罗女士                             台湾伯东: 王女士
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M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958

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