分子束外延设备(MBE)作为一种重要的真空镀膜工艺设备,对真空环境有着极高的要求,至少需要小于 10⁻⁷ mbar 的超高真空环境。本报告将详细阐述上海伯东的分子泵在分子束外延设备 MBE 中的应用情况。
上海伯东提供的德国 Pfeiffer 分子泵 HiPace 系列,包括 HiPace 300 和 HiPace 80,被广泛应用于 MBE 设备的真空系统搭建。该系列分子泵具有独特的优势,与友厂对比,其复合轴承分子泵 HiPace 系列对小分子气体拥有更高的抽速和更大压缩比。
上海伯东作为某真空设备制造商的重要合作伙伴,为其提供大量的 Pfeiffer 分子泵 HiPace 300 和 HiPace 80。这些分子泵被成功应用于分子束外延设备 MBE 的真空系统搭建中,满足了 MBE 设备对超高真空环境的严格要求,为 MBE 设备的正常运行提供了可靠的真空保障。
与友厂对比,上海伯东德国 Pfeiffer 复合轴承分子泵 HiPace 系列,对小分子气体拥有更高的抽速和更大压缩比.
型号 |
抽速 L/S |
压缩比 |
极限真空度 hPa |
进气口 |
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N2 67 |
N2 > 1 X1011 |
< 1X10–7 |
DN 63 DN 63 |
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N2 260 |
N2 > 1 X1011 |
< 1X10–7 |
DN 100 ISO-K/ DN 100 CF-F |
上海伯东的德国 Pfeiffer 分子泵 HiPace 系列在分子束外延设备 MBE 中的应用取得了良好的效果。其优异的性能参数,包括高抽速和大压缩比,以及能够满足超高真空环境要求的极限真空度,使其成为 MBE 设备真空系统搭建的理想选择。这一应用案例也进一步证明了普发分子泵产品的可靠性和先进性,为其在相关领域的市场拓展奠定了坚实的基础。
上海伯东是德国 Pfeiffer 真空设备, 美国 KRI 考夫曼离子源, 美国 inTEST 高低温冲击测试机, 美国 Ambrell 感应加热设备和日本 NS 离子蚀刻机等进口知名品牌的指定代理商 .我们真诚期待与您的合作!
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