上海伯东 inTEST ATS-545 热流仪用于 MEMS 压力传感器温度测试
MEMS 压力传感器，即微机电系统（Micro-Electro-Mechanical Systems）压力传感器，是将微型机械结构、电子元件以及信号处理电路集成于微小芯片上的先进传感器。其芯片主要采用单晶硅作为半导体材料，凭借微机械结构对被测量的敏感特性，将物理量精准转换为电信号输出。依据工作原理，MEMS 压力传感器主要分为压阻型、电容型和应变型三大类型。
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MEMS 压力传感器具备诸多显著优势，具体如下：
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特点
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描述
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微型化
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尺寸处于微米到毫米范围，便于集成至各类小型设备，为设备小型化提供有力支持
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低功耗
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微小结构与低驱动电压使其功耗极低，适用于对功耗要求严苛的场景，如可穿戴设备等
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高灵敏度
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能迅速感应微小物理量变化，并精确转化为电信号，确保测量的高精度
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高可靠性
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采用先进材料与制造技术，保障产品具备高稳定性和可靠性，减少故障风险
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成本低
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批量微加工制造工艺降低了单个传感器的生产成本，拥有高性价比，利于大规模应用
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多功能与智能化
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集成多种敏感元件实现参数测量同步化，搭配内置微处理器和智能算法，可对采集数据实时分析、处理和决策
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MEMS 压力传感器应用领域：
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应用领域
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具体应用场景
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汽车行业
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用于传动系统压力感测，如自动装置和新型双离合器传动系统；也用于轮胎压力监测系统、侧面气囊等，保障汽车安全与性能
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医疗市场
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作为外科手术使用的一次性低成本导管，以及在连续气道正压通气（CPAP）机等昂贵设备中感测压力与差流，助力医疗设备精准运行
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工业领域
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涵盖采暖通风及空调（HVAC）、水平面测量、各种工业过程与控制应用；在飞机上用于监测引擎、襟翼等部件，保障工业生产和航空安全
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消费电子
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手机中的气压计通过 MEMS 压力传感器实现，用于测量海拔高度、辅助 GPS 定位；部分可穿戴设备集成该传感器，用于监测运动状态、呼吸频率等，提升用户体验
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航空航天
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测量飞机的大气压力、燃油压力、液压系统压力等，为飞机的飞行控制、导航和安全提供关键数据支持
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MEMS 压力传感器温度测试的重要性与现状：
由于 MEMS 压力传感器应用场景广泛，不同环境温度会对其性能产生显著影响，因此对其温度特性的要求极高。目前，超过 80% 的 MEMS 传感器采用硅微工艺制作，这就需要在特定压力下快速进行不同温度点的性能测试，以确保产品质量和性能的可靠性。
在众多测试手段中，伯东 inTEST ATS-545 热流仪搭配压力机成为常用的温度测试解决方案，被广泛应用于 MEMS 温度冲击测试。
inTEST ATS-545 热流仪测试方法
1. 将被测 MEMS 传感器妥善放置在压力机内部，确保安装稳固，避免测试过程中出现位移影响测试结果。
2. 启动 inTEST ATS-545 热流仪，将温度精准加热至所需的测试点，严格控制升温过程，保证温度均匀性和稳定性。
3. 精细调节压力机参数，准确设定测试所需的压力值，确保压力施加符合测试要求。
4. 配合专业仪表设备，精确测试不同温度下 MEMS 传感器的各项参数数值。
5. 重复上述步骤，按照标准规范做好详细的数据记录，为后续数据分析提供准确依据。
inTEST ATS-545 热流仪设备性能参数：
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性能参数
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指标详情
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温度范围
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-75 °C 至 + 225°C (50 HZ)，无需 LN2 或 LCO2 冷却，满足多种测试场景需求
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变温速率
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-55°C 至 +125°C 约 10 S 或更少，+125 至 -55°C 约 10 S 或更少，快速变温提高测试效率
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输出气流量
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4 至 18 scfm（1.9 至 8.5 l/s），稳定气流保证温度均匀性
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温度精度
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±1℃（通过美国 NIST 校准），高精度确保测试数据可靠性
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温度显示分辨率
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±0.1℃，提供更精确的温度显示，便于观察和记录
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温度传感器
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T 或 K 型热电偶，具备良好的温度测量性能和稳定性
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inTEST ATS-545 热流仪凭借其宽广的温度范围、快速的变温速率、精准的温度控制以及高分辨率的温度显示等卓越性能，成为 MEMS 压力传感器温度测试的理想选择。上海伯东作为 inTest 品牌的全国总代理，致力于为客户提供优质的产品和专业的技术支持，助力各行业客户在 MEMS 压力传感器研发、生产和质量检测等环节取得更高效、更可靠的成果。选择 inTEST ATS-545 热流仪，就是选择更精准、更高效的温度测试解决方案。
上海伯东是美国 inTEST 高低温冲击测试机, 德国 普发 Pfeiffer 真空设备, 美国 KRI 考夫曼离子源, 日本 NS 离子蚀刻机, 美国 HVA 真空阀门, 美国 Gel-pak 芯片包装盒,比利时原装进 口 Europlasma 等离子表面处理机 , 日本 Atonarp过程质谱仪 和 美国 Ambrell 感应加热设备 等进口知名品牌的指定代理商 .我们真诚期待与您的合作!
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