在工业与科研领域的真空测量实践中，用户常面临多种技术挑战：腐蚀性介质的测量、传统电离规的漂移与短寿命、不同气体种类对测量精度的影响、以及低温真空系统无法直接开腔检测等问题。PH-Instruments基于旋转转子真空计技术开发的VIM-2移动式SRG系统及DosiTorr SRG传感器，为上述问题提供了针对性的解决方案。
旋转转子真空计基于气体分子吸附-脱附导致转子减速的物理效应进行压力测量。传感器至读数设备采用电感式信号传输，无馈通件，从根本上消除泄漏风险。
| 问题/需求 | SRG解决方案 | 关键特性 |
|---|---|---|
| 需要测量腐蚀性介质 | SRG可直接测量 | 适用BF₃、PH₃等腐蚀性气体 |
| 传感器至设备存在泄漏风险 | 电感式传输 | 无馈通件，无泄漏风险 |
| 电离规存在漂移、老化、放气、寿命短等问题 | 替换为SRG | 即插即用，可替换所有类型电离规 |
| 电离规针对氮气校准但实际使用其他气体 | 替换为SRG | 气体依赖性低且可定义 |
| 10⁻⁵ mbar压力范围测量需求 | 选用SRG | 该压力范围理想选择 |
| 电容压力计在10⁻³ mbar以下或存在污染时 | 替换为SRG | 替代方案 |
| 重加速是否会干扰连续测量 | 不影响 | 重加速仅需毫秒级 |
| 操作是否复杂 | VIM-2一键操作 | 操作简便 |
1. 真空绝缘监测
在液化气体储罐（液氢、液氦、LNG、液氧、液氮）的真空绝缘系统中，VIM-2可实现：
a. 通过早期泄漏检测，最大限度减少蒸发损失
b. 采用分体式双部件设计，无需破开低温真空腔体即可测量内部压力，降低操作风险
2. 工艺真空测量
主要应用于离子/分子束源和镀膜涂层工艺过程。
3. 高能物理
传感器与主机分离距离可达5米，适用于高能物理设施中需要远程测量的特殊场景。
4. 离子注入设备
在离子注入应用中，替换为SRG系统的投资回报周期通常小于1年。
SRG系统提供以下校准选项：
| 校准类型 | 周期 |
|---|---|
| CAL | 1周 |
| SEL | 1周 |
| PTB | 6-12个月 |
基于旋转转子真空计技术的VIM-2移动式SRG系统及DosiTorr传感器，在腐蚀性介质测量、电离规替代升级、低温真空系统无损检测、工艺真空监测等应用场景中提供了可靠的技术方案。其电感式无馈通传输、低气体依赖性、一键式操作、分体式设计等特性，有效解决了传统真空测量方式在多个行业中的共性难题。
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