HVA 真空阀门应用案例发布日期：2026-04-13

上海伯东HVA高真空闸阀助力国产高端MBE系统实现超高真空控制

分子束外延（MBE）系统是半导体器件、光电子材料及先进功能薄膜研发与生产中的核心高端设备。MBE系统对内部真空环境有着极致严苛的要求，必须维持超高真空（UHV）状态，方能实现原子层级别的精准薄膜生长，保障材料结晶度与器件性能。

作为美国HVA品牌真空阀门在中国的全国总代理，上海伯东为国内某高端量产MBE系统集成商提供了HVA高真空闸阀，成功满足其整套系统在200℃高温工况下的使用要求，助力国产MBE系统实现国际一流水准的真空控制。

一、HVA高真空闸阀核心优势

1. 品牌优势

- 美国原装进口，品牌历史悠久，真空领域专业度顶尖

- 行业标杆品牌，MBE系统厂商指定合作阀门品牌

- 全流程自主生产，技术自主可控，产品质量稳定

2. 技术性能优势

- 超高真空密封性，漏率极低，完美适配MBE超高真空环境

- 耐高温烘烤，无需拆卸即可配合MBE腔体除气工艺，可承受150–200℃高温烘烤

- 突发故障自锁，保护MBE腔体及内部样品安全

- 大口径低流阻，提升真空系统抽气效率

- 长寿命设计，减少维护，降低使用成本

3. 安装适配优势

- 多种法兰接口可选，兼容各类MBE系统腔体对接

- 结构紧凑，安装空间占用小，适配MBE设备紧凑布局

- 支持自动化控制，轻松接入MBE系统控制系统

二、典型应用场景

- MBE主生长腔体与进样腔体之间的真空隔离、通路通断控制

- MBE系统超高真空抽气机组（分子泵、离子泵）与腔体的连接控制

- MBE系统辅助真空腔体、过渡腔体的真空通路管控

- 半导体化合物（GaAs、GaN、InP）、氧化物功能薄膜MBE生长设备的真空控制

三、技术参数

HVA 真空阀门

参数分类	具体技术指标	参数说明
基础规格	公称通径：DN16～DN800 法兰类型：CF-F、ISO-F、ASA ANSI 驱动方式：气动驱动（标配）、手动驱动（可选）	适配MBE系统大口径腔体、真空机组对接，满足不同安装需求
真空性能	适用真空范围：≤1×10⁻¹⁰ mbar 氦气漏率：≤2×10⁻⁹ mbar·L/s 关闭承受压差：1bar（任意）开启前最大允许压差：≤30 mbar	达到超高真空级别，完全满足MBE系统真空环境要求
产品材质	阀体/阀瓣：Al、304L 轴密封波纹管：AM-350 密封件：Viton®氟橡胶、OFHC无氧铜、Kalrez 滑座材质：6061-T6铝合金 / PEEK	材质低出气、耐腐蚀、耐高温，适配真空严苛工况
温度性能	弹性密封阀体烘烤温度：≤200℃ 金属密封阀体烘烤温度：≤200℃ 气动执行器耐温：≤200℃	适配MBE系统定期高温烘烤除气工艺
控制参数	气动工作压力：80 psig（5.4 bar）电磁阀电压：120V AC（标配），24/220V AC、12/24V DC 阀门位置反馈：内置簧片开关	支持MBE系统自动化控制，可实现状态监控与报警联动
使用寿命	机械循环寿命：≥100000次	支持MBE系统长期高频次运行，减少维护更换

四、总结

上海伯东代理的美国HVA高真空闸阀，凭借卓越的超高真空性能、耐高温烘烤能力、安全自锁机制及长寿命设计，已成为全球高端MBE系统的标配真空阀门。在国内高端量产MBE系统中，HVA阀门成功实现了稳定、可靠的真空通路管控，为客户提供了媲美国际顶尖水平的国产化解决方案。

如需了解更多HVA高真空闸阀在MBE系统中的应用，欢迎联系上海伯东。

上海伯东是日本 NS 离子蚀刻机, 美国 KRI 考夫曼离子源, 德国 ph-instruments 磁悬浮转子真空计, 德国 普发 Pfeiffer 真空设备, 美国 inTEST 高低温冲击测试机, 美国 HVA 真空阀门, 美国 Gel-pak 芯片包装盒,比利时原装进口 Europlasma 等离子表面处理机 , 和美国 Ambrell 感应加热设备 等进口知名品牌的指定代理商 .我们真诚期待与您的合作!

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