——基于 Pfeiffer Vacuum ASM 340 氦质谱检漏仪
报告背景
近期，某知名精密陶瓷生产企业（主要生产应用于半导体及高端工业领域的陶瓷结构件）向上海伯东咨询氦质谱检漏仪的选型方案。该客户的产品对气密性要求极高，且生产环境对设备的稳定性及洁净度有严格要求。
应用需求分析
1. 被测对象： 高精密陶瓷件（用于真空腔体密封）。
2. 核心痛点： 陶瓷件在烧结过程中可能存在肉眼不可见的微观气孔，传统气泡法无法检测，必须使用高灵敏度的质谱检漏技术。
3. 客户期望： 需要一台既能满足高灵敏度检测，又能适应产线快速节拍，且维护成本低的检漏设备。
推荐设备：ASM 340 多用途氦质谱检漏仪
针对该陶瓷生产企业的特殊工况，上海伯东推荐 Pfeiffer Vacuum ASM 340。该设备是业界公认的高可靠性检漏仪，特别适合中大型部件的定位检漏及定量测试。
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技术优势
1. 极致灵敏： 专为微小泄漏设计，能精准捕捉陶瓷件中的隐性缺陷。
2. 快速响应： 强大的抽气系统确保了极短的测试周期，匹配客户的生产节拍。
3. 操作友好： 符合人体工程学的可拆卸控制面板，方便在不同工位操作。
核心测试方案：真空喷枪法
针对陶瓷件的特性，推荐采用真空喷枪法 (Vacuum Test: Spraying Test)。
1. 测试流程：
a. 抽真空： 将待测陶瓷件密封连接至检漏仪，利用 ASM 340 强劲的前级泵将系统抽至工作真空度。
b. 喷吹示踪气： 使用喷枪向陶瓷件表面可疑部位喷吹氦气。
c. 信号捕捉： 若存在漏孔，氦气进入真空系统，被检漏仪捕捉并显示具体漏率值。
2. 判定标准： 漏率 < 1×10⁻⁹ Pa·m³/s 为合格。
| 参数项目 | 技术指标 |
|---|---|
| 检测气体 | 氦气 (⁴He, ³He), 氢气 (H₂) |
| 最小可测漏率 | 5×10⁻¹² Pa·m³/s (吸枪模式) < 5×10⁻¹² Pa·m³/s (真空模式) |
| 氦气抽速 | 2.5 l/s |
| 前级泵配置 | 旋片泵 (抽速 15 m³/h) |
| 最大入口压力 | 25 hPa |
| 启动时间 | ~3 min (20℃, 不含校准时间) |
| 通讯接口 | RS-232, Ethernet, Profibus (可选) |
结论
Pfeiffer Vacuum ASM 340 凭借其 2.5 l/s 的氦气抽速和 5×10⁻¹² Pa·m³/s 的超高灵敏度，能够完美解决该陶瓷生产企业对产品气密性的检测难题。其坚固的工业设计和低维护率，将为客户带来长期稳定的生产保障。
上海伯东 Pfeiffer Vacuum 事业部
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