PH-Instruments SRG旋转转子真空计应用发布日期:2026-05-18

上海伯东 PHI SRG 磁悬浮转子真空计在高端真空校准系统中的应用


报告摘要:

本报告阐述了德国 PHI SRG Transducer (DosiTorr) 磁悬浮转子真空计在北京某仪表科技公司——高端真空压力校准系统中的应用情况。

上海伯东某客户 (北京某仪表科技公司) 致力于研发高精度一体化检定/校准装置,用于满足科研及工业领域对真空传感器、开关及仪表的严苛计量需求。PHI SRG 凭借其卓越的长期稳定性、耐腐蚀性及宽量程特性,成功被选为该校准系统的核心标准器。

 

一、客户背景 

客户位于北京,是一家仪表科技公司, 专注于压力计量校准与测控的高科技企业。其核心产品真空压力校准标准装置广泛应用于汽车工业、石油化工、电力及科研领域。该装置要求内部配置的标准器具备极高的精度和可靠性,以作为压力源的参考标准。

 

二、客户系统概况 

客户真空压力校准系统组成包含:真空压力泵、真空控制单元、真空回路控制换向阀、油污过滤器、ARM 中央处理器、四路开关信号检测模块。

应用领域:研究开发、生产制造、汽车工业、工业安全、石油化工、造纸、电力等科研及工业领域。

真空压力校准

 

三、客户系统技术指标

1. 真空范围:133000 Pa~5×10⁻⁶ Pa

2. 标准器最大误差等级:0.025 级、0.15 级、0.2 级

3. 测量有效分辨率:0.001% FS(0.025 级)、0.003% FS

4. 控制精密度:0.005 Pa

 

四、客户系统标准器选型需求

根据该真空校准系统设计,标准器需满足:

1. 覆盖系统真空范围(133000 Pa~5×10⁻⁶ Pa)

2. 达到 0.025~0.2 级标准器精度要求

3. 具备高长期稳定性、低漂移

4. 适配工业及复杂工况,耐腐蚀、抗沉积

5. 具备标准法兰接口

6. 支持自动化通信,接入系统 ARM 控制及上位机

 

五、选用 PHI SRG DosiTorr CF40 技术依据

1. DosiTorr CF40 技术参数

参数类别 技术指标
测量原理 磁悬浮转子规(SRG)
测量范围 10 mbar~5×10⁻⁷ mbar
精度

10~0.1 mbar:≤读数 10%;

0.1~1×10⁻⁶ mbar:≤读数 1%

长期稳定性 年漂移<1.5%
线性度 100% 线性,不受气体类型影响
法兰接口 CF40、KF25、KF40、8 VCR、1/8” NPT
输出与接口 0~10 VDC;USB Type C、RS485、RS232
通信协议 Modbus、ASCII、LabView 驱动
工作温度 10℃~40℃
接触材质 1.4404、1.4034 不锈钢

 

2. 与客户真空校准系统匹配点

a. 量程匹配:DosiTorr CF40 覆盖 10 mbar~5×10⁻⁷ mbar,覆盖系统高真空段(5×10⁻⁶ Pa)校准区间。

b. 精度匹配:SRG 为真空校准传递标准,精度满足系统 0.025~0.2 级标准器等级。

c. 稳定性匹配:年漂移<1.5%,适配系统长期连续校准运行。

d. 工况适配:真空侧无电子元件,无加热 / 电离影响;不锈钢材质耐腐蚀、抗沉积,适配工业校准环境。

e. 接口兼容:CF40 法兰可接入系统真空回路,无需额外转换。

f. 自动化适配:标准通信接口支持 Modbus,可接入系统 ARM 控制单元及上位机,实现数据传输与自动记录。

量程对比

 

六、在客户系统中的应用方式

1. 安装位置:系统真空回路标准器接口

2. 接口连接:CF40 法兰直接接入系统真空管路

3. 信号接入:数字 / 模拟信号接入系统控制单元,参与全自动校准流程

 

七、应用价值

1. 为系统提供传递级真空标准,满足 0.025~0.2 级校准精度。

2. 低漂移、高稳定性,适配系统长期运行,保障校准可靠性。

3. 洁净、耐腐蚀特性,适配多行业校准工况。

4. 标准通信接口无缝接入系统自动化流程,支持数据存储与证书打印。

 

八、结论

德国 PHI SRG 磁悬浮转子真空计(DosiTorr CF40)在量程、精度、稳定性、接口及自动化能力上,均完全匹配上海伯东某客户 (北京某仪表科技公司) 高精度一体化真空压力校准系统的标准器要求。采购可用于系统配置,可有效提升校准精度、稳定性与自动化水平,适用于科研、汽车、化工、电力等领域真空计量校准应用。

 

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