机器人五金连接件的铬膜厚度达不到, 表面不致密, 薄膜吸附仪不够, 将影响机器人连接件力学性能, 还有表面耐磨性能, 因此某国内机器人五金连接件制造商为了获得更优质的连接件铬膜, 采用伯东 KRI 聚焦型考夫曼离子源 KDC 100 辅助镀制五金连接件铬膜.
伯东美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 100 技术参数：
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离子源型号 |
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Discharge |
DC 热离子 |
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离子束流 |
>400 mA |
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离子动能 |
100-1200 V |
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栅极直径 |
12 cm Φ |
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离子束 |
聚焦 |
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流量 |
2-20 sccm |
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通气 |
Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
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典型压力 |
< 0.5m Torr |
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长度 |
23.5 cm |
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直径 |
19.4 cm |
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中和器 |
灯丝 |
* 可选: 可调角度的支架
推荐理由:
使用 KRI 聚焦型考夫曼离子源 KDC 100可一方面可以增加束流密度, 提高溅射率; 另一方面减小离子束的散射面积, 减少散射的离子溅射在靶材以外的地方引起污染.
在镀制铬膜的过程中, 其镀铬的真空容器要求漏率不超过10-8Pa m3/s, 为了保证客户镀铬真空容器的漏率, 伯东工程师给客户推荐氦质谱测漏仪 ASM 340
氦质谱测漏仪 ASM 340 其技术参数特点如下:
1. 前级泵 抽速 15 m3/h
2. 分子泵 Splitflow 50 对氦抽速 2.5 l/s
3. 测漏精度:
真空模式: 5E-13 Pa m3/s
吸枪模式: 5E-10 Pa m3/s
4. 移动式操作面板（有线、无线）
5. 集成SD卡, 方便数据处理
6. 抗破大气、抗震动, 降低由操作失误带来的风险性
7. 丰富的可选配件, 如吸枪、遥控器、小推车、旁路装置、标准漏孔等
运行结果:
1. 使用KRI 聚焦型考夫曼离子源 KDC 100辅助镀制五金连接件铬膜后, 镀制的铬膜品质更好, 厚度更均匀, 表面更致密, 薄膜吸附仪更强
2. 氦质谱测漏仪 ASM 340 有效保证了镀铬真空容器的真空度
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