Europlasma 低压等离子表面处理机, 适用于产品表面等离子活化改性, 高分子材料亲水, 细胞培养皿活化, TC 处理等工艺
工艺 |
等离子腔容积 |
样品托盘 |
涂层厚度 |
水接触角 |
Nanofics@ |
490 L |
8个 |
亲水 10-50 nm |
WCA< 10° |
Europlasma 低压等离子表面处理机根据产品应用可选择 Nanofics@ 或无卤素涂层技术 PlasmaGuard® 工艺, 实现产品表面的超亲水或疏水涂层.
工艺 |
等离子腔容积 |
样品托盘 |
涂层厚度 |
水接触角 |
Nanofics@ 或 PlasmaGuard® |
490 L |
3-5个 |
疏水50-500 nm |
WCA >120° |
Atonarp 过程控制质谱仪 Aston™, 通过使用分子传感技术, 提供半导体制程中 ALD, CVD, 蚀刻, ALE 和腔室在大批量生产中的气体侦测分析, 实现尾气在线监控, 诊断, 为半导体过程控制提供解决方案, 提高半导体制造工艺的产量, 吞吐量和效率
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