HVA 真空闸阀, 真空插板阀 21200 系列产品资料发布日期:2020-05-29

HVA 真空闸阀, 真空插板阀 21200 系列为百万周期真空闸阀, 专为高真空应用而设计, 特别适合 1x10-9 mbar 高真空且烘烤温度不超过 150°C的应用.

HVA 真空闸阀, 真空插板阀 21200 系列内部没有机械锁, 非常适合对于要求无振动运行的半导体和敏感工艺. 所有活动关节的轴都经过硬化处理, 减少了颗粒物的产生并提供了更平稳的驱动.

清洁和高密封性保证 HVA 真空阀门与低温泵、涡轮分子泵, 离子泵等完美联用.

上海伯东是美国 HVA 真空阀门在中国地区唯一指定总代理商.

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