高真空排气台密封性泄露检测
上海伯东某客户生产研发多工位高真空和超高真空排气台, 实现多工位同时抽真空的效果, 真空度需要稳定在 -7 mbar, - 8 mbar, 包含真空系统在内的多个组件, 均需要进行密封性泄露测试, 以保证高真空性能. 经过上海伯东推荐真空系统核心组件分子泵选用德国 Pfeiffer HiPace 系列, 并使用无油干式氦质谱检漏仪 ASM 340D 对整个排气台进行密封性检漏.
高真空排气台真空系统组成
* 涡轮分子泵 HiPace 80, HiPace 300, HiCube 80 ECO
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分子泵型号
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HiPace 80
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HiPace 300
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HiCube 80 ECO
(分子泵组, 集成前级泵)
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图片
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氮气抽速 L/S
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67
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260
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67
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极限真空 mbar
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＜5X10-10
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＜5X10-10
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＜1X10-8
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* 真空规: PKR 251, CMR 361
超高真空排气台检漏方法
排气台管路预留 KF 25 法兰(或在分子泵和前级泵间预留), 通过波纹管与氦质谱检漏仪 ASM 340D 连接, 真空模式下, 漏率值设定为 10-7 mbar l/s. 用喷枪在怀疑有漏的部位进行吹扫. 如果超过设定的漏率值, 检漏仪会时时报警并显示当前漏率.
上海伯东销售维修无油干式氦质谱检漏仪 ASM 340D 与传统泡沫检漏和压差检漏对比, 在提供无损快速检漏的同时可以检测出更小的漏率 1X10-12 mbar l/s, 利用氦气作为示踪气体可定位, 定量漏点.
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型号
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ASM 340D
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对氦气的最小检测漏率
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1X10-12 mbar l/s
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检测模式
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真空模式和吸枪模式
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检测气体
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4He, 3He, H2
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启动时间 min
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3
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对氦气的抽气速度 l/s
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2.5
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进气口最大压力 hPa
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25
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前级泵抽速 m3/h
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无油隔膜泵 3.4
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45
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45
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结合了 Pfeiffer 与 Adixen 两家检漏仪的技术优势, 上海伯东德国 Pfeiffer 推出全系列新型号氦质谱检漏仪, 从便携式检漏仪到工作台式检漏仪满足各种不同的应用. 氦质谱检漏仪替代传统泡沫检漏和压差检漏, 利用氦气作为示踪气体可定位, 定量漏点. 氦质谱检漏仪满足单机检漏, 也可集成在检漏系统或 PLC. 推荐氦质谱检漏仪应用 >>
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