KRI 考夫曼射频离子源 RFCIP220 制备高性能光通信带通滤光膜
光通信的信息载体是光波, 为了进一步提高光通信系统中光信号的传输质量, 满足光通信系统的使用要求, 广东中山某研究机构采用 KRI 考夫曼射频离子源 RFCIP220 制备高性能光通信带通滤光膜.
伯东 KRI 射频离子源 RFICP220 技术参数:
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离子源型号
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RFICP220
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Discharge
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RFICP 射频
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离子束流
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>800 mA
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离子动能
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100-1200 V
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栅极直径
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20 cm Φ
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离子束
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聚焦, 平行, 散射
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流量
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10-40 sccm
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通气
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Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他
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典型压力
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< 0.5m Torr
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长度
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30 cm
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直径
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41 cm
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中和器
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LFN 2000
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* 可选: 灯丝中和器; 可变长度的增量
在该研究项目中, 以 Ta2O5 和 SiO2 作为镀膜材料, 设计了含有 12 个谐振腔的带通滤光膜, 分析并解决了耦合层膜厚监控的问题.
运行结果:
制备的带通滤光膜在 1528～1571 nm 处插入损耗小于 0.2 dB, 1470～1521 nm 和 1578～1651 nm 处透射隔离度大于 40 dB, 满足实际使用要求.
伯东是德国 Pfeiffer 真空泵, 检漏仪, 质谱仪, 真空计, 美国 KRI 考夫曼离子源, 美国HVA 真空阀门, 美国 inTEST 高低温冲击测试机, 美国 Ambrell 感应加热设备和日本 NS 离子蚀刻机等进口知名品牌的指定代理商.
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