在等离子体放电装置的运行中,配套阀门及管路的密封性至关重要。上海伯东代理的德国 Pfeiffer 氦质谱检漏仪 ASM 340D 被应用于某高校老师搭建的等离子体放电装置配套阀门及管路的检漏工作
等离子体放电装置配套阀门及管路检漏方法:
1. 检漏仪介绍
ASM 340D 具备真空法和吸枪法两种测漏模式,本次针对等离子体放电装置配套阀门及管路采用真空模式(Vacuum Mode)。
整个等离子体放电装置要求极限真空达到 E - 3pa,ASM 340D 在满足这一要求的基础上进行检漏操作。
2. 真空模式原理及操作
在真空模式下,将待测阀门及管路连接到检漏仪的真空系统中,对其抽真空至合适的压力范围。然后通过向可能泄漏的部位喷吹氦气,若有泄漏,氦气会进入真空系统被检漏仪检测到。
客户选用上海伯东氦质谱检漏仪 ASM 340D 的原因:
1. 高性能分子泵
采用业界内最好的分流式分子泵,具有高压缩比的特性,对氦气的抽速在业界最快,且转速最高。这使得在检漏过程中能够快速有效地将系统内的气体抽出,提高检测效率,并且高压缩比有助于提高检测灵敏度1。
2. 进气口压力优势
在检测模式下,进气口压力可达 25mbar,为业界最高。较高的进气口压力允许更大的气体流量通过检漏仪,在检测一些可能存在较大泄漏或需要快速检测的情况下具有优势。
3. 出色的最小检测漏率
其最小检测漏率在业界处于领先水平,能够检测到极其微小的泄漏,确保等离子体放电装置配套阀门及管路的高密封性要求。对于防止等离子体泄漏以及维持装置内部的稳定运行环境具有关键意义。
4. 双前级泵设计
双前级泵设计提供了冗余保障,即使其中 1 个前级泵出现故障,另 1 个仍能保持检漏仪正常运行。这大大提高了检漏仪在实际使用中的可靠性,减少因设备故障导致的检测中断风险,保证了等离子体放电装置检漏工作的连续性。
5. 独特的大漏模式检漏
是业界内唯一一个提供大漏模式检漏的设备,仅需 100 mbar 即可进行检漏。对于一些可能存在较大泄漏的情况,如在设备安装初期或在进行初步排查时,这种大漏模式能够快速定位问题,节省检测时间。
6. 便于保养维修的设计
分子泵倒置安装,方便保养维修,客户可以自行更换油棉。这降低了设备的维护成本和维护难度,减少了因设备维护对等离子体放电装置检漏工作的影响,提高了设备的整体可用性。
7. 长寿命双灯丝结构
采用钇铱灯丝,寿命长,且为双灯丝结构。当 1 根灯丝断了,可以自动切换到第二根,确保检漏仪能够持续正常运行。在长时间的检漏工作中,减少了因灯丝故障导致的停机时间,提高了工作效率。
8. 高精度磁场设计
180° 半圆形磁场的设计使得测氦信号更准确。准确的检测信号有助于提高检漏结果的可靠性,减少误判,确保对等离子体放电装置配套阀门及管路泄漏情况的准确判断。
9. 自带吹扫阀功能
自带吹扫阀,能够快速清除氦气残留。在完成一次检漏测试后,可迅速清除系统内残留的氦气,为下一次检测做好准备,提高了检测效率,同时也有助于保护设备内部元件免受残留氦气的影响。
10.多种吸枪接口
检漏仪带 2 种吸枪接口,一种普通吸枪,一种智能吸枪。可根据不同的检漏需求选择合适的吸枪,增加了设备的适用性,无论是在常规检漏还是在一些特殊环境或要求下的检漏工作中都能发挥作用。
11. 可移动操作面板
可移动操作面板可以延伸 2 米左右,方便操作人员在不同位置进行操作。在对等离子体放电装置配套阀门及管路进行检漏时,操作人员可以根据实际情况调整操作面板位置,提高操作的便利性和灵活性。
上海伯东代理的德国 Pfeiffer 氦质谱检漏仪 ASM 340D 凭借其多种先进的技术特点和性能优势,在等离子体放电装置配套阀门及管路检漏工作中表现出色。其高精度、高可靠性以及便于操作和维护的特性,为确保等离子体放电装置的密封性提供了有力保障,满足了高校老师在该装置检漏方面的需求,在相关领域的检漏应用中具有重要的价值。
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