PH-Instruments SRG旋转转子真空计应用发布日期：2025-08-14

PHI SRG磁悬浮转子真空计：解决先进制造中的真空测量难题

在半导体、光伏和精密制造领域，传统真空计（如离子真空计和电容式真空计）因污染、温度漂移和频繁维护等问题，严重影响制程稳定性和良率。PHI Instruments GmbH的磁悬浮转子真空计（SRG）凭借无接触测量、抗污染、长期稳定性等颠覆性优势，成为高精度真空测量的终极解决方案。上海伯东作为PHI中国区战略合作伙伴，为您提供专业的技术支持与服务。

一、传统真空计的致命缺陷

1. 离子真空计（Ion Gauge）的污染与失真

a. 灯丝污染：工艺气体（如SiH₄、Cl₂）与灯丝反应，生成颗粒物（如SiO₂），污染腔室并导致读数漂移。

b. 溅射效应：电极材料脱落，造成测量误差和腔体污染。

c. 维护频繁：灯丝寿命短，需每周停机更换，设备综合效率（OEE）降低。

2. 电容式真空计的局限性

a. 温度敏感：膜片受热膨胀导致测量误差。

b. 机械老化：工艺气体腐蚀膜片，长期稳定性差（年漂移>5%）。

二、PHI SRG磁悬浮转子真空计的技术优势

DosiTorr真空計整体外观

金屬感測器內含鋼球

1. 无接触测量，彻底消除污染源

磁悬浮转子技术：真空腔内仅有一个不锈钢球（直径4.5mm），无电子部件，零颗粒生成。
全金属密封设计：抗腐蚀性气体（Cl₂、F₂等），适用于刻蚀、CVD等严苛工艺。

2. 长期稳定性与高精度

PTB/NIST认证：年漂移<1%，20年内校准系数变化<0.2%。
宽量程高精度：10 mbar至5×10⁻⁷ mbar，全量程±1%读数精度。

3. 免维护设计

无灯丝、无耗材：终身免维护，设备综合效率（OEE）提升15%以上。

三、PHI SRG核心产品参数

型号	Dositorr SRG	VIM-2移动式SRG	ION Check校准系统
测量范围	10 mbar ~ 5×10⁻⁷ mbar	10 mbar ~ 5×10⁻⁷ mbar	5×10⁻⁷ ~ 1×10⁻² mbar
精度	±1%读数	±1%读数	±1%读数（SRG模式）
长期稳定性	<1%/年	<1%/年	<1%/年
接液材料	316L不锈钢	1.4404不锈钢	不锈钢
接口	USB-C/蓝牙/RS485	USB-C/蓝牙/RS485	USB-C/蓝牙/RS485
典型应用	离子注入、刻蚀	薄膜沉积、科研计量	真空计校准

四、行业应用案例

1. 半导体离子注入设备

问题：传统电离规灯丝与BF₃反应，导致颗粒污染和读数漂移。
PHI解决方案：SRG替换后，颗粒污染减少90%，年维护成本降低。

2. 光伏镀膜工艺

挑战：电容式真空计因温度波动导致膜片变形，测量误差达±5%。
PHI解决方案：SRG高温版（450℃耐受），精度稳定在±1.5%。

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