在半导体离子注入工艺中，工艺腔室的真空度稳定性直接影响束流控制精度、注入均匀性和工艺重复性。客户使用的某国际主流离子注入设备，在长期运行中，其原真空监测系统面临以下行业共性挑战：
1. 测量漂移问题：在掺杂气体（如BF₃, PH₃等）环境下，传统测量原理的传感器易受污染，导致关键参数发生不可控的长期漂移，影响工艺窗口的稳定性。
2. 特殊气体测量局限：对于氢气等工艺环境，传统方案存在测量准确性不足及潜在安全顾虑，难以提供可靠的工艺监控数据。
3. 高维护成本压力：传感器作为核心易损件，需要频繁的校准、更换及专业维护，导致设备综合使用成本居高不下，并影响设备可用率。
4. 数据可信度存疑：由于无法实时确认传感器本身的准确性，工艺工程师对真空度读数的绝对可靠性存在顾虑，为工艺调试与故障根因分析增加了难度。
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针对离子注入工艺对真空测量提出的高稳定、高可靠、低维护需求，上海伯东技术团队经深入评估，为客户定制了 PHI DosiTorr SRG磁悬浮转子真空计 的升级方案。
方案核心亮点：
1. 直接升级：采用 “Config”配置，实现对设备原真空计接口的全兼容直接替换，无需改动设备电气接线、通信协议或控制软件。
2. 空间优化：选用 “Extend”延长型设计，完美适应了设备内部紧凑的安装空间限制，解决了原位升级的物理难题。
3. 原理革新：以Spinning Rotor Gauge（SRG）旋转转子规这一基准测量原理，从根本上超越了传统技术的局限性。
PHI DosiTorr SRG磁悬浮转子真空计 带来的核心价值提升
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面临的行业挑战 |
传统方案典型局限 |
DosiTorr SRG 的突破性价值 |
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测量精度与长期漂移 |
测量值易受传感器表面状态影响， 长期使用后漂移显著，典型精度范围较宽。 |
基于物理原理的绝对测量，与气体种类无关，提供真实压力值。 长期精度 ±1% 读数，年漂移率< 1.5%，数据始终可信。 |
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复杂工艺气体环境 |
对不同气体响应不同，需复杂补偿， 尤其在活性/轻质气体环境中误差大。 |
统一、准确测量所有工艺气体，包括氢气， 从根本上消除了因气体成分变化带来的测量不确定性与安全顾虑。 |
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持续维护成本 |
传感器整体为消耗品，故障后需整机更换， 采购成本高，且依赖专业工程师，停机时间长。 |
创新的模块化设计：仅核心传感器球（SEL Sphere）为可更换部件，支持客户现场快速维护。 维护成本降低超过80%，将停机时间从“以天计”缩短至“以分钟计”。 |
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总拥有成本与可靠性 |
作为周期性更换的“消耗品”， 总拥有成本高，且可靠性随使用时间下降。 |
将真空计从“消耗品”转变为可长期信赖的“工艺资产”。 超高稳定性大幅降低了校准频次与备件库存，显著优化总拥有成本。 |
现场实施效果与客户反馈
1. 无缝升级：PHI DosiTorr SRG磁悬浮转子真空计凭借其精准的接口兼容性，实现了在客户设备上的无缝安装与即插即用，整个升级过程平滑，未影响生产计划。
2. 性能验证：上线后，其测量数据与设备其他冗余测量点及工艺结果表现出了高度的一致性。在工艺泵抽周期、稳态压力保持及工艺气体切换等各个阶段，均表现出卓越的稳定性和重复性。
结论
本次在高端离子注入工艺中的成功应用，充分验证了PHI DosiTorr系列 SRG磁悬浮转子真空计在解决半导体制造关键计量难题上的强大能力。它通过原理级创新确保了数据的终极可靠性，并通过设计级创新实现了前所未有的低维护成本与高可用性，为客户提升工艺控制水平、保障产能与优化运营成本提供了坚实的技术支撑。
上海伯东作为PHI在中国区的核心合作伙伴，将持续致力于将此类突破性的真空测量解决方案，推广至更多半导体、光伏、科研及高端制造领域，赋能中国精密制造。
上海伯东是日本 NS 离子蚀刻机, 美国 KRI 考夫曼离子源, 德国 ph-instruments 磁悬浮转子真空计, 德国 普发 Pfeiffer 真空设备, 美国 inTEST 高低温冲击测试机, 美国 HVA 真空阀门, 美国 Gel-pak 芯片包装盒,比利时原装进 口 Europlasma 等离子表面处理机 , 和 美国 Ambrell 感应加热设备 等进口知名品牌的指定代理商 .我们真诚期待与您的合作!
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