伯东 Pfeiffer 真空泵 HiPace 80 应用于磁控离子溅射镀膜仪
英国知名品牌磁控离子溅射镀膜仪是一款优化设计的带涡轮分子泵抽真空的镀膜设备, 真空度可达5x10-5mbar. 可以溅射具有超细成膜颗粒的易氧化金属, 适用于高分辨率成像. 同样地, 低散射可得到均匀而致密的无定形碳膜.
伯东 Pfeiffer 真空泵 HiPace 80 应用于磁控离子溅射镀膜仪
上海伯东德国普发 Pfeiffer 真空泵 HiPace 80优点：
1.抽速可达到 71 l/s 高性能涡轮分子泵.
2.真空泵 HiPace 80 对所有气体的高抽速和极高压缩比使其广泛应用于真空行业.
3.集成驱动电路, 适用于工业环境.
4.通过保护等级 IP54, 半导体 S2, UL / CSA 认证.
5.通过控制器监控运算数据保证分子泵的最高安全性.
6.涡轮分子泵 HiPace 80 可以任意位置安装.
7.自然风冷.
8.多种配件可选满足广泛应用.
与友厂对比,上海伯东德国 Pfeiffer 复合轴承分子泵 HiPace 系列,对小分子气体拥有更高的抽速和更大压缩比.
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型号
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抽速 L/S
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压缩比
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极限真空度 hPa
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真空泵 HiPace 80
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N2 67
He 58
H2 48
Ar 66
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N2 > 1 X1011
He > 1.3X107
H2 1.4X105
Ar > 1 X1011
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< 1X10–7
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真空泵 HiPace 300
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N2 260
He 255
H2 220
Ar 255
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N2 > 1 X1011
He > 1X108
H2 9X105
Ar > 1 X1011
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< 1X10–7
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上海伯东是德国 Pfeiffer 真空泵, 检漏仪, 质谱仪, 真空计, 美国 KRI 考夫曼离子源, 美国 inTEST 高低温冲击测试机, 美国 Ambrell 感应加热设备和日本 NS 离子蚀刻机等进口知名品牌的指定代理商.
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