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普发 Pfeiffer 真空泵
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普发 Pfeiffer 真空泵
2020-06-10
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德国普发 Pfeiffer Vacuum+FabSolutions（隶属于全球 Busch 集团）正式推出 ATH-M 系列最新最大型号——ATH 4506 M 涡轮分子真空泵。该产品对氮气的抽速高达 4,500 l/s，适用于半导体制造、大面积涂层、高气体流量工艺及大型真空室（如空间模拟）等严苛应用场景。
2026-04-22
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美国 KRI 霍尔离子源 eH 系列紧凑设计, 高电流低能量宽束型离子源, 提供原子等级的细微加工能力, 霍尔离子源 eH 可以有效地以纳米精度来处理薄膜及表面, 多种型号满足科研及工业, 半导体应用.
2023-05-09
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2021-08-19
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